PVD gullbeleggmaskin

Den magnetronreaktive sputteringen av isolatorer virker enkel, men selve operasjonen er vanskelig. Hovedproblemet er at reaksjonen ikke bare skjer på overflaten av delen, men også på anoden, overflaten av vakuumkammeret og overflaten av målkilden. Dette forårsaker brannslokking, lysbue fra målkilden og arbeidsstykkets overflate og så videre. Tvillingmålkildeteknologien oppfunnet av Leybold i Tyskland løser dette problemet veldig bra. Prinsippet er at et par målkilder er katoden og anoden til hverandre, og eliminerer dermed oksidasjonen eller nitreringen av anodeoverflaten.

Avkjøling er nødvendig for alle kilder (magnetron, multi-bue, ioner), fordi en stor del av energien omdannes til varme. Hvis det ikke er kjøling eller utilstrekkelig kjøling, vil denne varmen få målkildetemperaturen til å nå mer enn 1,000 grader og smelte hele målkilden. .

Et magnetronutstyr er ofte veldig dyrt, men det er lett å bruke penger på annet utstyr som vakuumpumpe, MFC, filmtykkelsesmåling og ignorere målkilden. Uansett hvor bra magnetronforstøvningsutstyret er uten en god målkilde, er det som å tegne en drage uten prikken over i-en.

Fordelen med å bruke mellomfrekvenssputtering er at den kan være jevn og tett. Hardheten til filmlaget er høy. Filmtykkelsen kan vokse lineært. Ingen forgiftning. Vakuumovnens multibuesputtering påfører en liten spenning og en stor strøm til målet for å ionisere materialet (positivt ladede partikler), og treffer derved substratet (negativt ladet) med høy hastighet og avleiring, og danner en tett film og en hard film . Brukes hovedsakelig til slitasje- og korrosjonsbestandige filmer. Ulempen er at de positive og negative elektriske støtene forårsaker ujevn film, hull og ablasjon.

Prinsippet for mellomfrekvenssputtering er det samme som for generell DC-sputtering. Forskjellen er at DC-sputtering bruker sylinderen som en anode, mens mellomfrekvenssputtering er paret. Hvorvidt sylinderen deltar i må avhenge av den overordnede utformingen, og hele systemet I sputterprosessen er arrangementet av anode og katode relatert, og det er mange måter å delta i forholdssyklusen på. Ulike metoder kan oppnå forskjellige sputteringsutbytter og forskjellige ionetettheter. Hovedteknologien for mellomfrekvenssputtering ligger i utformingen og bruken av strømforsyningen. For tiden er de to metodene for utmating av sinusbølge og pulsfirkantbølger mer modne. Hver har sine egne fordeler og ulemper. Først bør vi vurdere typen film, og analysere hvilken effektmetode som passer for hvilken film. Du kan bruke egenskapene til strømforsyningen for å få ønsket effekt. filmeffekt.

applikasjon

Parameter

Vårt selskap

Populære tags: pvd gullbeleggmaskin, Kina, leverandører, produsenter, fabrikk, tilpasset, kjøp, pris, tilbud