Spin Coating Machine

Mellomfrekvenssputtering er også en slags magnetronforstøvning.

Det finnes mange typer magnetronsputtering, som kan deles inn i DC-magnetronsputtering, radiofrekvensmagnetronsputtering og mellomfrekvensmagnetronsputtering i henhold til strømkilden som brukes. Strømforsyningen som brukes i DC-magnetronsputtering er en DC-høyspentstrømforsyning, vanligvis 300-1000 V, som er preget av rask sputterhastighet, lav kostnad og billig vedlikehold i den senere perioden. Imidlertid kan bare metallmål sputteres. Hvis målet er en isolator, vil målet akkumulere en stor mengde ladning ettersom sputteringen skrider frem, noe som resulterer i manglende evne til sputtering å fortsette. Derfor brukes vanligvis DC-magnetronsputtering for metallmål. På grunn av den lave kostnaden og den enkle strukturen, er den mye brukt i industrien. Frekvensen til RF-strømforsyningen som brukes i RF-magnetronsputtering er vanligvis 13,56 MHz, noe som kan løse problemet med at DC-magnetronsputtering ikke kan sprute isolerende mål. Egenskapene til RF-magnetronsputtering er: både isolerende mål og metallmål kan sputteres, og adhesjonen mellom filmen og underlaget er sterk. Men på grunn av den komplekse strukturen og enheten, den høye prisen på RF-strømforsyningen, de høye vedlikeholdskostnadene, strålingen til menneskekroppen og behovet for et eksternt matchende nettverk, er den ikke egnet for industriell produksjon. Mellomfrekvens magnetronforstøvning brukes ofte til reaktiv sputtering for å fremstille sammensatte filmer av metall. I tillegg til argon tilsettes en liten mengde reaktive gasser som nitrogen, oksygen osv. til hulrommet for å avsette molekylene til disse reaktive gassene med atomene i målmaterialet. på substratet for å danne en metallsammensatt film. Siden DC magnetron sputtering er mye brukt i industrien, inkluderer magnetron sputtering bordet et vakuumsystem, et sputtering beleggsystem, en gass og et kontrollsystem.

applikasjon

Parameter

Vårt selskap

Populære tags: spin coating maskin, Kina, leverandører, produsenter, fabrikk, tilpasset, kjøp, pris, tilbud